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磁控溅射参数变动问题
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磁控溅射镀膜机 相同的气压下和电压下，得到的电流比原来小很多；要想得到大电流，就要加比原来大得多的电压； 什么原因会导致这种情况？ |
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5楼2011-08-26 09:55:44
2楼2011-08-10 11:16:29
hello_kitty
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
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3楼2011-08-11 16:27:58
4楼2011-08-15 13:14:57
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10