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磁控溅射参数变动问题
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磁控溅射镀膜机 相同的气压下和电压下,得到的电流比原来小很多;要想得到大电流,就要加比原来大得多的电压; 什么原因会导致这种情况? |
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2楼2011-08-10 11:16:29
hello_kitty
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