24小时热门版块排行榜    

查看: 1044  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

idiot891

金虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射参数变动问题

磁控溅射镀膜机

相同的气压下和电压下,得到的电流比原来小很多;要想得到大电流,就要加比原来大得多的电压;

什么原因会导致这种情况?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

idiot891

金虫 (初入文坛)

xjajx: 鼓励交流 2011-08-16 18:56:04
这样的设备
不同厂家
国内外
不同功能
价格差别还是比较大的
4楼2011-08-15 13:14:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

yuxinyao

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:17:51
idiot891(金币+10): 谢谢 我去试试看 2011-08-10 13:52:24
靶材经长时间溅射后,有可能会在表面形成一层钝化层,导致溅射电流的下降,尤其是在用反应性气体(N2或O2)来做溅射的时候。如果是这种情况下导致的,可以考虑用Ar对靶材溅射一定的时间以除去表面的钝化层。楼主可以尝试一下,希望对你有帮助。
2楼2011-08-10 11:16:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hello_kitty

铜虫 (小有名气)

这个设备贵不?我也打算用这个设备做薄膜
3楼2011-08-11 16:27:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雅平

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

idiot891(金币+2): 怎么来解毒呢 2011-10-25 13:37:37
idiot891(金币+5): 2012-01-12 20:42:43
可能是因为靶材中毒吧,尤其是铝靶,氮气氛围下,特别容易中毒。
5楼2011-08-26 09:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +22 羊腰板 2026-08-21 25/1250 2026-08-26 15:00 by zuocuiping
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件,有关系吗? +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +26 yaoyewhu2008 2026-08-20 28/1400 2026-08-26 13:49 by zzuzxg
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +4 yuleib84 2026-08-26 5/250 2026-08-26 13:40 by yuleib84
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国际合作可查了,中了面上 +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 国合现在查不到了吗? +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 牛来!米来!面来! +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
信息提示
请填处理意见