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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射参数变动问题
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idiot891

金虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射参数变动问题

磁控溅射镀膜机

相同的气压下和电压下，得到的电流比原来小很多；要想得到大电流，就要加比原来大得多的电压；

什么原因会导致这种情况？
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1楼 2011-08-10 09:35:27
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idiot891

金虫 (初入文坛)
xjajx: 鼓励交流 2011-08-16 18:56:04
这样的设备
不同厂家
国内外
不同功能
价格差别还是比较大的
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4楼2011-08-15 13:14:57
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yuxinyao

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:17:51
idiot891(金币+10): 谢谢 我去试试看 2011-08-10 13:52:24
靶材经长时间溅射后，有可能会在表面形成一层钝化层，导致溅射电流的下降，尤其是在用反应性气体（N2或O2）来做溅射的时候。如果是这种情况下导致的，可以考虑用Ar对靶材溅射一定的时间以除去表面的钝化层。楼主可以尝试一下，希望对你有帮助。
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2楼2011-08-10 11:16:29
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hello_kitty

铜虫 (小有名气)
这个设备贵不？我也打算用这个设备做薄膜
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3楼2011-08-11 16:27:58
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雅平

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

idiot891(金币+2): 怎么来解毒呢 2011-10-25 13:37:37
idiot891(金币+5): 2012-01-12 20:42:43
可能是因为靶材中毒吧，尤其是铝靶，氮气氛围下，特别容易中毒。
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5楼2011-08-26 09:55:44
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