24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 856  |  回复: 5

idiot891

金虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射参数变动问题

磁控溅射镀膜机

相同的气压下和电压下,得到的电流比原来小很多;要想得到大电流,就要加比原来大得多的电压;

什么原因会导致这种情况?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuxinyao

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-10 11:17:51
idiot891(金币+10): 谢谢 我去试试看 2011-08-10 13:52:24
靶材经长时间溅射后,有可能会在表面形成一层钝化层,导致溅射电流的下降,尤其是在用反应性气体(N2或O2)来做溅射的时候。如果是这种情况下导致的,可以考虑用Ar对靶材溅射一定的时间以除去表面的钝化层。楼主可以尝试一下,希望对你有帮助。
2楼2011-08-10 11:16:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hello_kitty

铜虫 (小有名气)

这个设备贵不?我也打算用这个设备做薄膜
3楼2011-08-11 16:27:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

idiot891

金虫 (初入文坛)

xjajx: 鼓励交流 2011-08-16 18:56:04
这样的设备
不同厂家
国内外
不同功能
价格差别还是比较大的
4楼2011-08-15 13:14:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

雅平

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

idiot891(金币+2): 怎么来解毒呢 2011-10-25 13:37:37
idiot891(金币+5): 2012-01-12 20:42:43
可能是因为靶材中毒吧,尤其是铝靶,氮气氛围下,特别容易中毒。
5楼2011-08-26 09:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
6楼2012-02-06 11:27:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 idiot891 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工272求调剂 +16 阿斯蒂芬2004 2026-03-28 16/800 2026-03-29 22:57 by tantai88888
[考研] 085600 286分 材料求调剂 +10 麻辣鱿鱼 2026-03-27 11/550 2026-03-29 21:52 by nanaliuyun
[考研] 281求调剂 +4 亚克西good 2026-03-26 6/300 2026-03-29 21:06 by 啊李999
[考研] 289求调剂 +5 BrightLL 2026-03-29 5/250 2026-03-29 17:24 by zhyzzh
[考研] 环境工程 085701,267求调剂 +6 minht 2026-03-29 6/300 2026-03-29 16:21 by 学员8dgXkO
[考研] 298求调剂 +4 种圣赐 2026-03-28 4/200 2026-03-29 08:42 by q1092522407
[考研] 321求调剂 +7 璞玉~~ 2026-03-25 8/400 2026-03-29 06:41 by 544594351
[考研] 322求调剂 +7 宋明欣 2026-03-27 7/350 2026-03-28 21:27 by sanrepian
[考研] 332求调剂 +4 @MZB382400 2026-03-28 4/200 2026-03-28 21:02 by 唐沐儿
[考研] 一志愿中南大学化学0703总分337求调剂 +5 niko- 2026-03-27 5/250 2026-03-28 14:25 by 唐沐儿
[考研] 347求调剂 +3 山顶见α 2026-03-25 3/150 2026-03-28 14:13 by 唐沐儿
[考研] 086502化学工程342求调剂 +6 阿姨复古不过 2026-03-27 6/300 2026-03-28 07:06 by wangy0907
[考研] 085600材料与化工调剂 +10 A-哆啦Z梦 2026-03-23 16/800 2026-03-27 15:13 by caszguilin
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 324求调剂 +5 hanamiko 2026-03-26 5/250 2026-03-27 10:33 by wangjy2002
[考研] 286求调剂 +4 lim0922 2026-03-26 4/200 2026-03-27 10:28 by guoweigw
[考研] 求调剂 一志愿 本科 北科大 化学 343 +6 13831862839 2026-03-24 7/350 2026-03-26 22:57 by 不吃魚的貓
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 344求调剂 +3 desto 2026-03-24 3/150 2026-03-24 10:09 by 搏击518
[考研] 328求调剂 +4 LHHL66 2026-03-23 4/200 2026-03-23 14:55 by lbsjt
信息提示
请填处理意见