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qgmeng2005金虫 (小有名气)
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薄膜退火问题
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| RT,我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜,薄膜厚度在几个微米左右,但是900-1000℃退火之后只有500nm左右,而且薄膜平整,XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢 |
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