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qgmeng2005金虫 (小有名气)
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[求助]
薄膜退火问题
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| RT，我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜，薄膜厚度在几个微米左右，但是900-1000℃退火之后只有500nm左右，而且薄膜平整，XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢 |
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金虫 (小有名气)
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- 虫号: 417219
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- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2011-05-15 14:12:14