应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 薄膜退火问题
111/2返回列表12下一页
查看: 1689  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

qgmeng2005

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜退火问题

RT，我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜，薄膜厚度在几个微米左右，但是900-1000℃退火之后只有500nm左右，而且薄膜平整，XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-05-13 17:02:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by qgmeng2005 at 2011-05-13 17:02:25:
RT，我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜，薄膜厚度在几个微米左右，但是900-1000℃退火之后只有500nm左右，而且薄膜平整，XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢

你至少的说说你做的什么薄膜吧,别人也好帮你分析下.
赞一下 回复此楼
2楼2011-05-13 19:28:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2011-05-13 19:28:18:
你至少的说说你做的什么薄膜吧,别人也好帮你分析下.

不好意思，我做的是CuAlO2薄膜~
赞一下 回复此楼
3楼2011-05-14 10:32:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
enquan123(金币+1): 鼓励交流，欢迎常来论坛交流~ 2011-05-15 13:22:18
引用回帖:
Originally posted by qgmeng2005 at 2011-05-14 10:32:08:
不好意思，我做的是CuAlO2薄膜~

这玩儿意难做，控制气氛（氧分压）是关键。另外温度不用那么高。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-05-15 13:19:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
huangzx1314(金币+1): 鼓励交流~~~ 2011-05-15 15:00:56
qgmeng2005(金币+6): 2011-08-18 11:11:09
再做一次，用低的温度试一试吧。另外考虑一下你用的是基片在这种温度下的稳定性。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-05-15 14:12:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2011-05-15 13:19:25:
这玩儿意难做，控制气氛（氧分压）是关键。另外温度不用那么高。

很赞同你的观点，确实很难做。我也是试着降低退火，但是降低之后薄膜表面形成颗粒的结晶，打能谱之后发现Cu元素含量很高，不知为什么
赞一下 回复此楼
6楼2011-05-15 21:35:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tommy8726

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
huangzx1314(金币+1): 鼓励交流，要是能简单介绍一下各个参数对其影响就更好了~~ 2011-05-23 23:52:56
我也是用RF磁控溅射……嗯，这个东西，主要控制溅射功率，工作压，氧分压，温度……挺麻烦，多试试改变一些参数吧
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2011-05-23 23:48:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by Tommy8726 at 2011-05-23 23:48:43:
我也是用RF磁控溅射……嗯，这个东西，主要控制溅射功率，工作压，氧分压，温度……挺麻烦，多试试改变一些参数吧

工作压力越大还是越小溅射效率越高啊，谢谢啦
赞一下 回复此楼
8楼2011-05-25 08:59:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tommy8726

银虫 (小有名气)
★
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流互助！ 2011-05-25 17:41:24
不是很确定，只是控制气压，似乎气压和成分比有关
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-05-25 17:29:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yirake2007

铜虫 (小有名气)
我想知道搂住用什么设备退火，怎么保证样品不被氧化啊？在线等答案。
赞一下 回复此楼
10楼2011-05-26 20:25:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 qgmeng2005 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 5/250 2026-05-24 16:21 by hhx1yx9evi
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 4/200 2026-05-24 16:16 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！ +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[考博] 26/27申博自荐 10+4 ZXW0202 2026-05-22 9/450 2026-05-24 08:47 by bjvtcliu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 08:01 by 9ps9vgkqva
[基金申请] 揭秘青基评审内幕：几个A才能顺利中标 +3 国自然国社科中 2026-05-23 4/200 2026-05-23 15:37 by 2000zf36392
[考博] 博士申请 +3 焦晓明 2026-05-21 3/150 2026-05-23 11:26 by mlc840311
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 面上本子正文33页，违规吗？会被低分嘛？ +14 1234567wang 2026-05-17 16/800 2026-05-21 17:58 by 脆脆的饼干
[基金申请] 国自然评分 +4 无名者登山 2026-05-20 5/250 2026-05-21 16:35 by swuq
[基金申请] 国自然上会要求 +7 无名者登山 2026-05-18 11/550 2026-05-21 15:50 by draco1987
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[基金申请] 评审有感 +15 popular289 2026-05-18 26/1300 2026-05-21 10:35 by 西葫芦炒鸡蛋
[有机交流] 反应很差，大量原料没有反应 5+3 Mr.Zot 2026-05-19 8/400 2026-05-20 22:19 by Equinoxhua
[考博] 如果工作了想读博，可以边工作边读全日制嘛？ 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
[考博] 博士申请 +5 星…… 2026-05-18 6/300 2026-05-18 23:49 by 糊糊涂涂好
[硕博家园] 我在等一个没有答案的答案 +3 Love_MH 2026-05-17 3/150 2026-05-18 02:22 by 竹林孤影
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭