24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1606  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜退火问题

RT,我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜,薄膜厚度在几个微米左右,但是900-1000℃退火之后只有500nm左右,而且薄膜平整,XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by Tommy8726 at 2011-05-23 23:48:43:
我也是用RF磁控溅射……嗯,这个东西,主要控制溅射功率,工作压,氧分压,温度……挺麻烦,多试试改变一些参数吧

工作压力越大还是越小溅射效率越高啊,谢谢啦
8楼2011-05-25 08:59:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
Originally posted by qgmeng2005 at 2011-05-13 17:02:25:
RT,我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜,薄膜厚度在几个微米左右,但是900-1000℃退火之后只有500nm左右,而且薄膜平整,XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢

你至少的说说你做的什么薄膜吧,别人也好帮你分析下.
2楼2011-05-13 19:28:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qgmeng2005

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2011-05-13 19:28:18:
你至少的说说你做的什么薄膜吧,别人也好帮你分析下.

不好意思,我做的是CuAlO2薄膜~
3楼2011-05-14 10:32:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


enquan123(金币+1): 鼓励交流,欢迎常来论坛交流~ 2011-05-15 13:22:18
引用回帖:
Originally posted by qgmeng2005 at 2011-05-14 10:32:08:
不好意思,我做的是CuAlO2薄膜~

这玩儿意难做,控制气氛(氧分压)是关键。另外温度不用那么高。
4楼2011-05-15 13:19:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿山东大学,085600,344 +3 魏子per 2026-04-02 4/200 2026-04-02 16:21 by Creta
[考研] 材料调剂 +6 一样YWY 2026-04-02 6/300 2026-04-02 14:56 by liu823948201
[考研] 环境工程297分求调剂一志愿杭高院 +12 GENJIOW 2026-03-31 13/650 2026-04-02 14:54 by 给你你注意休息
[考研] 材料专业求调剂 +10 月月鸟木 2026-04-01 10/500 2026-04-02 12:57 by wxiongid
[考研] 考研调剂0702 +3 梅子味晚霞 2026-03-28 3/150 2026-04-02 10:10 by jp9609
[考研] 0710生物学求调剂 +9 manman511 2026-04-01 9/450 2026-04-02 10:00 by zxl830724
[考研] 303求调剂 +8 DLkz1314. 2026-03-30 8/400 2026-04-02 09:08 by sanrepian
[考研] 土木304求调剂 +6 兔突突突, 2026-03-31 7/350 2026-04-02 09:06 by coolminer
[考研] 材料调剂 +14 一样YWY 2026-04-01 14/700 2026-04-01 21:07 by lijunpoly
[考研] 0703求调剂 +4 zizimo 2026-03-31 4/200 2026-04-01 16:04 by yanflower7133
[考研] 求调剂 +5 零八# 2026-03-27 5/250 2026-04-01 14:40 by yulian1987
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-03-31 11/550 2026-04-01 11:35 by wangjy2002
[考研] 288资源与环境专硕求调剂,不限专业,有学上就行 +25 lllllos 2026-03-30 26/1300 2026-04-01 09:52 by 一只好果子?
[考研] 301求调剂 +8 axibli 2026-04-01 8/400 2026-04-01 09:51 by 我的船我的海
[考研] 一志愿武理材料工程302调剂环化或化工 +15 Doleres 2026-03-31 16/800 2026-04-01 09:49 by lfj11
[考研] 085404 22408 315分 +5 zhuangyan123 2026-03-31 6/300 2026-03-31 13:48 by limeifeng
[考研] 调剂求院校招收 +7 鹤鲸鸽 2026-03-28 7/350 2026-03-31 11:21 by oooqiao
[考研] 085701环境工程求调剂 +11 多久上课 2026-03-27 12/600 2026-03-30 21:21 by 研究僧导导
[考研] 一志愿南开大学0710生物学359求调剂 +5 兔兔兔111223314 2026-03-29 7/350 2026-03-30 18:29 by 兔兔兔111223314
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
信息提示
请填处理意见