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qgmeng2005

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜退火问题

RT,我采用磁控溅射陶瓷靶材制备薄膜,薄膜厚度在几个微米左右,但是900-1000℃退火之后只有500nm左右,而且薄膜平整,XRD测试也没有衍射峰形成晶型。请问可能是什么原因呢
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Tommy8726

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


huangzx1314(金币+1): 鼓励交流,要是能简单介绍一下各个参数对其影响就更好了~~ 2011-05-23 23:52:56
我也是用RF磁控溅射……嗯,这个东西,主要控制溅射功率,工作压,氧分压,温度……挺麻烦,多试试改变一些参数吧
7楼2011-05-23 23:48:43
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Tommy8726

银虫 (小有名气)


Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流互助! 2011-05-25 17:41:24
不是很确定,只是控制气压,似乎气压和成分比有关
9楼2011-05-25 17:29:00
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