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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

Dr.

[交流] 磁控溅射漏气 已有9人参与

磁控溅射设备漏气了,真空抽不上去,初步判断是密封圈出了问题,请问哪里有卖密封圈的啊,直径15mm,谢谢各位了!
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珍惜已经拥有的一切,用心去面对发生的一切!
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bytianping

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
确实不太好买,多催催吧,每天一通电话:)  LZ确定过是密封圈问题吗?比如用乙醇之类的擦一下看看真空度有没有变化呢?或是密封圈被压扁了?
Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
8楼2011-04-08 20:06:39
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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

Dr.

和厂家联系了,已经催了几次,还是没有把配件邮寄过来,着急啊。。。
珍惜已经拥有的一切,用心去面对发生的一切!
3楼2011-04-07 22:50:00
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diamondli99

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
个人感觉真空设备的密封元件应该很好买才对,没有必要死靠厂家吧?
4楼2011-04-08 08:14:39
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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
是无氧铜圈还是氟橡胶圈,如果在北京的话,蓝旗营那边北科仪有
5楼2011-04-08 08:32:18
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