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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

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[交流] 磁控溅射漏气已有9人参与

磁控溅射设备漏气了，真空抽不上去，初步判断是密封圈出了问题，请问哪里有卖密封圈的啊，直径15mm，谢谢各位了！

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珍惜已经拥有的一切，用心去面对发生的一切！

1楼 2011-04-07 20:02:44

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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

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谢谢各位，是氟橡胶圈，在武汉这边
这种基本配件应该好找，但找了几个地方都没有：（

珍惜已经拥有的一切，用心去面对发生的一切！

7楼2011-04-08 17:55:10

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cugwhgongysh

铁杆木虫 (小有名气)

Dr.

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和厂家联系了，已经催了几次，还是没有把配件邮寄过来，着急啊。。。

珍惜已经拥有的一切，用心去面对发生的一切！

3楼2011-04-07 22:50:00

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diamondli99

木虫 (正式写手)

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个人感觉真空设备的密封元件应该很好买才对，没有必要死靠厂家吧？

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4楼2011-04-08 08:14:39

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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

是无氧铜圈还是氟橡胶圈，如果在北京的话，蓝旗营那边北科仪有

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5楼2011-04-08 08:32:18

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