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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】薄膜材料如何做XRD
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thjuan

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】薄膜材料如何做XRD

问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小角掠射XRD？如果是常规XRD，扫描速度多少比较合适？
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1楼2011-03-09 11:08:03
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manson882

至尊木虫 (正式写手)
★
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我也有这个疑惑 感觉这个问题挺经典的  毕竟还是做普通xrd的多  希望xdjm多给点意见  我顺便学习下
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2楼2011-03-09 11:09:37
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
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金光闪闪2010(金币+1): 欢迎常来交流 2011-03-09 23:10:56
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:15:47
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

我也曾做过玻璃基底（可能透过了）的薄膜的xrd，好像效果都不太好，就放弃了。

正常xrd速度比较快，你的基底是什么硅片吗？扫描速度可以慢点1度/min试一次看看。我看好多文献上的效果还可以阿，比如
Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 3639–3649，基底信号基本没有。
如果做薄膜的曲线和单纯基底，然后再扣除基底不知道可行不，没试过。
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3楼2011-03-09 15:31:25
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石头荆

木虫 (小有名气)
学习学习!
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4楼2011-03-09 17:39:02
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lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:17:05
一般薄膜样品应该考虑小角衍射，将衬底影响减至最小
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5楼2011-03-09 18:28:37
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todouwei

木虫 (正式写手)
★ ★
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金光闪闪2010(金币+1): 欢迎提供有参考价值的信息 2011-03-09 23:11:46
thjuan(金币+2): 谢谢 我的是Si(100)衬底 不过我看好多文献没有衬底峰 不知道他们怎么做到的 2011-03-10 09:19:03
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

你用的什么衬底 大多数材料的衍射峰位不和ZnO的峰位重合 所以就算衬底的峰很强又有什么关系那？ 你只要作图的时候只选定ZnO峰位区间就行了，如果衬底峰位和ZnO峰位很近你可以对Y轴取对数
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6楼2011-03-09 18:47:32
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todouwei

木虫 (正式写手)
★
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thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:21:18
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

对于超过200nm的薄膜没有必要用小角衍射， 速度设定为每步0.02度，每步0.1秒，就够了。
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7楼2011-03-09 18:51:31
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todouwei

木虫 (正式写手)
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-11 09:13:49
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

Si的峰位在69度，ZnO主峰区都在30-40度，作图的时候就取20-65度，既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角衍射也可以试一下，先做摇摆曲线确定入射角，再做小角扫描。
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8楼2011-03-10 10:42:43
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423445980

木虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
8楼: Originally posted by todouwei at 2011-03-10 10:42:43:
Si的峰位在69度，ZnO主峰区都在30-40度，作图的时候就取20-65度，既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角 ...

Si的峰位在28.3，,47.5和55.9附近，你说的69度是什么峰
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9楼2011-12-17 15:18:44
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yjun8831

金虫 (正式写手)
★
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用双面胶将膜粘在那个槽里
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10楼2011-12-19 17:20:40
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