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【请教】薄膜材料如何做XRD
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thjuan
银虫
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(幼儿园)
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虫号: 443382
[交流]
【请教】薄膜材料如何做XRD
问题如下:有做化学气相沉积的吗?请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜,由于刚开始还不太懂,第一次做XRD发现衬底的峰强度很大,几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题?这种情况下是不是要做小角掠射XRD?如果是常规XRD,扫描速度多少比较合适?
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1楼
2011-03-09 11:08:03
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todouwei
木虫
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虫号: 526202
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-11 09:13:49
引用回帖:
Originally posted by
thjuan
at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下:有做化学气相沉积的吗?请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜,由于刚开始还不太懂,第一次做XRD发现衬底的峰强度很大,几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题?这种情况下是不是要做小 ...
Si的峰位在69度,ZnO主峰区都在30-40度,作图的时候就取20-65度,既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右,只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角衍射也可以试一下,先做摇摆曲线确定入射角,再做小角扫描。
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8楼
2011-03-10 10:42:43
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manson882
至尊木虫
(正式写手)
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★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
我也有这个疑惑 感觉这个问题挺经典的 毕竟还是做普通xrd的多 希望xdjm多给点意见 我顺便学习下
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2楼
2011-03-09 11:09:37
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vmuch520
至尊木虫
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★ ★
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+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 欢迎常来交流 2011-03-09 23:10:56
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:15:47
引用回帖:
Originally posted by
thjuan
at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下:有做化学气相沉积的吗?请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜,由于刚开始还不太懂,第一次做XRD发现衬底的峰强度很大,几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题?这种情况下是不是要做小 ...
我也曾做过玻璃基底(可能透过了)的薄膜的xrd,好像效果都不太好,就放弃了。
正常xrd速度比较快,你的基底是什么硅片吗?扫描速度可以慢点1度/min试一次看看。我看好多文献上的效果还可以阿,比如
Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 3639–3649,基底信号基本没有。
如果做薄膜的曲线和单纯基底,然后再扣除基底不知道可行不,没试过。
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3楼
2011-03-09 15:31:25
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lulinsmann
木虫
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★
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):给个红包,谢谢回帖交流
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:17:05
一般薄膜样品应该考虑小角衍射,将衬底影响减至最小
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5楼
2011-03-09 18:28:37
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