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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 关于薄膜XRD的求助
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tianci1993

木虫 (著名写手)

[求助] 关于薄膜XRD的求助 已有2人参与

最近用溶胶凝胶旋涂法在基底上面做薄膜。前一段时间用的ITO做基底，测XRD能测出来薄膜物质的峰。但是ITO到一定温度就融化了，后来换的硅片做基底。一样的旋涂工艺，但是测XRD的时候只出来一个很强的峰，在69°附近。不解，求虫友指点一二~
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1楼 2014-04-27 16:17:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whd博士

木虫 (著名写手)
建议放个数据上来看看~~~~~~
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2楼2014-04-27 19:18:58
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frankcs

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没结晶？69度怀疑是杂质峰。上两个图看看

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2014-04-27 21:38:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by whd博士 at 2014-04-27 19:18:58
建议放个数据上来看看~~~~~~

已上传。请帮忙看一下。那个69°是不是硅片的峰？
关于薄膜XRD的求助
2345截图20140428082621.jpg


关于薄膜XRD的求助-1
2345截图20140428082757.jpg
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4楼2014-04-28 08:32:57
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tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tianci1993 at 2014-04-28 08:32:57
已上传。请帮忙看一下。那个69°是不是硅片的峰？

2345截图20140428082621.jpg

2345截图20140428082757.jpg
...

怎么无法显示
关于薄膜XRD的求助-2
2345截图20140428082621.jpg


关于薄膜XRD的求助-3
2345截图20140428082757.jpg
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5楼2014-04-28 08:34:20
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tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by frankcs at 2014-04-27 21:38:28
没结晶？69度怀疑是杂质峰。上两个图看看

请帮忙看一下~~
关于薄膜XRD的求助-4
2345截图20140428082621.jpg


关于薄膜XRD的求助-5
2345截图20140428082757.jpg
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6楼2014-04-28 08:35:41
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tianci1993: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 嗯。今天换了个地方测了，其他的峰出来了。测到69度就出了一个强峰，是硅的峰 2014-04-28 12:26:13
引用回帖:
4楼: Originally posted by tianci1993 at 2014-04-28 08:32:57
已上传。请帮忙看一下。那个69°是不是硅片的峰？

2345截图20140428082621.jpg

2345截图20140428082757.jpg
...

如果用的是单晶硅，而且是（100）取向的话，这个可能是硅片的衍射峰。而且从背底来看，可能你的涂覆层确实没结晶，背底非常杂。
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7楼2014-04-28 08:59:01
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frankcs

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

涂完退火了吗？应该是没结晶

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2014-04-28 10:25:55
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bryano

木虫 (正式写手)
忘了Si的特征峰了，你首先对比下是不是Si的。
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9楼2014-04-28 12:36:05
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tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by frankcs at 2014-04-28 10:25:55
涂完退火了吗？应该是没结晶

700度

[ 发自小木虫客户端 ]
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10楼2014-04-28 13:08:14
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