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tianci1993

木虫 (著名写手)

[求助] 关于薄膜XRD的求助 已有2人参与

最近用溶胶凝胶旋涂法在基底上面做薄膜。前一段时间用的ITO做基底,测XRD能测出来薄膜物质的峰。但是ITO到一定温度就融化了,后来换的硅片做基底。一样的旋涂工艺,但是测XRD的时候只出来一个很强的峰,在69°附近。不解,求虫友指点一二~
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frankcs

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

涂完退火了吗?应该是没结晶

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2014-04-28 10:25:55
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查看全部 12 个回答

whd博士

木虫 (著名写手)

建议放个数据上来看看~~~~~~
2楼2014-04-27 19:18:58
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frankcs

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没结晶?69度怀疑是杂质峰。上两个图看看

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2014-04-27 21:38:28
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tianci1993

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by whd博士 at 2014-04-27 19:18:58
建议放个数据上来看看~~~~~~

已上传。请帮忙看一下。那个69°是不是硅片的峰?
关于薄膜XRD的求助
2345截图20140428082621.jpg


关于薄膜XRD的求助-1
2345截图20140428082757.jpg

4楼2014-04-28 08:32:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
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