应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】薄膜材料如何做XRD
101/1返回列表
查看: 3701  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

thjuan

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】薄膜材料如何做XRD

问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小角掠射XRD？如果是常规XRD，扫描速度多少比较合适？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

镀膜与膜层或涂层检测 ZnO 分析 text19.0 lab20.0

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-09 11:08:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

manson882

至尊木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也有这个疑惑 感觉这个问题挺经典的  毕竟还是做普通xrd的多  希望xdjm多给点意见  我顺便学习下
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-09 11:09:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 欢迎常来交流 2011-03-09 23:10:56
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:15:47
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

我也曾做过玻璃基底（可能透过了）的薄膜的xrd，好像效果都不太好，就放弃了。

正常xrd速度比较快，你的基底是什么硅片吗？扫描速度可以慢点1度/min试一次看看。我看好多文献上的效果还可以阿，比如
Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 3639–3649，基底信号基本没有。
如果做薄膜的曲线和单纯基底，然后再扣除基底不知道可行不，没试过。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2011-03-09 15:31:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石头荆

木虫 (小有名气)
????!
回复此楼
4楼2011-03-09 17:39:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:17:05
一般薄膜样品应该考虑小角衍射，将衬底影响减至最小
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-03-09 18:28:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

todouwei

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 欢迎提供有参考价值的信息 2011-03-09 23:11:46
thjuan(金币+2): 谢谢 我的是Si(100)衬底 不过我看好多文献没有衬底峰 不知道他们怎么做到的 2011-03-10 09:19:03
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

你用的什么衬底 大多数材料的衍射峰位不和ZnO的峰位重合 所以就算衬底的峰很强又有什么关系那？ 你只要作图的时候只选定ZnO峰位区间就行了，如果衬底峰位和ZnO峰位很近你可以对Y轴取对数
赞一下(2人) 回复此楼
6楼2011-03-09 18:47:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

todouwei

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:21:18
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

对于超过200nm的薄膜没有必要用小角衍射， 速度设定为每步0.02度，每步0.1秒，就够了。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2011-03-09 18:51:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

todouwei

木虫 (正式写手)
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-11 09:13:49
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下：有做化学气相沉积的吗？请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜，由于刚开始还不太懂，第一次做XRD发现衬底的峰强度很大，几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题？这种情况下是不是要做小 ...

Si的峰位在69度，ZnO主峰区都在30-40度，作图的时候就取20-65度，既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角衍射也可以试一下，先做摇摆曲线确定入射角，再做小角扫描。
赞一下 回复此楼
8楼2011-03-10 10:42:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

423445980

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by todouwei at 2011-03-10 10:42:43:
Si的峰位在69度，ZnO主峰区都在30-40度，作图的时候就取20-65度，既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右，只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角 ...

Si的峰位在28.3，,47.5和55.9附近，你说的69度是什么峰
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2011-12-17 15:18:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjun8831

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
用双面胶将膜粘在那个槽里
赞一下(2人) 回复此楼
10楼2011-12-19 17:20:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 thjuan 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 08工学 309分求调剂 +4 Yin DY 2026-04-08 4/200 2026-04-09 19:15 by Ccclqqq
[考研] 本科郑州大学，一志愿华东师范大学282求调剂 +23 熊哥xtk 2026-04-07 26/1300 2026-04-09 17:17 by 18446523
[论文投稿] 求助文献原文 10+3 18500821399 2026-04-08 3/150 2026-04-09 16:56 by 北京莱茵润色
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +3 慕绝cc 2026-04-09 3/150 2026-04-09 09:57 by liuhuiying09
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +3 双一流本科机械 2026-04-08 3/150 2026-04-08 20:41 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿生物与医药，296分，求调剂 +14 66鹿 2026-04-03 16/800 2026-04-08 10:38 by tjzhao
[考博] 申博 +8 IQwQl 2026-04-04 8/400 2026-04-08 09:43 by 0608104024
[考研] 生物医药调剂｜SCI中科院三区一作+多项科研成果 +8 likangxing 2026-04-07 11/550 2026-04-08 00:02 by lys0704
[考研] 298求调剂 +4 残荷新柳 2026-04-07 4/200 2026-04-07 23:02 by lbsjt
[考研] 259求调剂 +5 就爱吃土豆呀呀 2026-04-07 5/250 2026-04-07 22:40 by JourneyLucky
[考研] 306求调剂 +3 15287505595 2026-04-03 3/150 2026-04-07 18:08 by 蓝云思雨
[考研] 287分求调剂 有专利国奖一志愿哈工大085406 +6 白易辰 2026-04-06 7/350 2026-04-06 22:46 by 875465
[考研] 085405软件工程301分求调剂，专硕可跨专业，四六级已过 +3 静静想想 2026-04-05 3/150 2026-04-06 15:23 by nepu_uu
[考研] 专硕304找调剂，一线城市最好 +3 李lsl李 2026-04-05 3/150 2026-04-06 12:16 by ffffjjjj
[考研] 求调剂 +7 张.1 2026-04-05 7/350 2026-04-05 20:40 by 啵啵啵0119
[考研] 358求调剂 +7 秋gk 2026-04-04 7/350 2026-04-05 13:29 by huangmoli
[考研] 268求调剂 +8 你好tg 2026-04-03 9/450 2026-04-04 05:08 by gswylq
[考研] 一志愿安徽大学0817化学工程与技术，求调剂 +14 我不是只因 2026-04-02 15/750 2026-04-03 09:49 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭