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thjuan

银虫 (小有名气)


[交流] 【请教】薄膜材料如何做XRD

问题如下:有做化学气相沉积的吗?请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜,由于刚开始还不太懂,第一次做XRD发现衬底的峰强度很大,几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题?这种情况下是不是要做小角掠射XRD?如果是常规XRD,扫描速度多少比较合适?
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木虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by todouwei at 2011-03-10 10:42:43:
Si的峰位在69度,ZnO主峰区都在30-40度,作图的时候就取20-65度,既能证明薄膜没有杂相也能去掉Si的峰。ZnO 004峰在73度左右,只要不需标定晶格常数也就没有必要显示出来。真想标的话薄膜就应该做的厚一点。 小角 ...

Si的峰位在28.3,,47.5和55.9附近,你说的69度是什么峰
9楼2011-12-17 15:18:44
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manson882

至尊木虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我也有这个疑惑 感觉这个问题挺经典的  毕竟还是做普通xrd的多  希望xdjm多给点意见  我顺便学习下
2楼2011-03-09 11:09:37
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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 欢迎常来交流 2011-03-09 23:10:56
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:15:47
引用回帖:
Originally posted by thjuan at 2011-03-09 11:08:03:
问题如下:有做化学气相沉积的吗?请教大家一个问题。我做的氧化锌薄膜,由于刚开始还不太懂,第一次做XRD发现衬底的峰强度很大,几乎就看不到氧化锌的峰了。请问大家有没有遇到这个问题?这种情况下是不是要做小 ...

我也曾做过玻璃基底(可能透过了)的薄膜的xrd,好像效果都不太好,就放弃了。

正常xrd速度比较快,你的基底是什么硅片吗?扫描速度可以慢点1度/min试一次看看。我看好多文献上的效果还可以阿,比如
Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 3639–3649,基底信号基本没有。
如果做薄膜的曲线和单纯基底,然后再扣除基底不知道可行不,没试过。
3楼2011-03-09 15:31:25
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lulinsmann

木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
thjuan(金币+2): 谢谢 2011-03-10 09:17:05
一般薄膜样品应该考虑小角衍射,将衬底影响减至最小
5楼2011-03-09 18:28:37
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