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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
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li_jing_kui

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上 已有12人参与

磁控溅射偏压为什么加不上？调节功率旋钮，只是有电流，没有电源，偏压加不上，请有经验的人指教。谢谢！（正常起辉，可以镀膜，就是加在基片上的偏压加不上 ）

[ Last edited by li_jing_kui on 2010-4-27 at 15:04 ]
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1楼 2010-04-22 11:16:48
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

mackfzg

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
气压太低，增加MFC Ar气流，或者调小高阀。
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光伏，光伏电站，储能电池，储能电站
9楼2013-02-18 11:53:52
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good256

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
工件盘和腔体短路了，以前我也碰到过这种情况
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12楼2015-07-24 01:51:56
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普通回帖

zhioking

木虫 (小有名气)
★ ★
li_jing_kui(金币+1):谢谢参与
yzcluster(金币+1): 2010-04-23 11:15
是不是气体流量太低了
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2楼2010-04-22 14:52:54
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zhwg21

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yzcluster(金币+2): 2010-04-23 11:16
主要有两个方面，一个就是你的真空度太高，调到几帕下起辉看看，如果还不起辉，可以加大板压，甚至可以加到最大，再不起辉，那就再调高压强，肯定起辉啦。
以上都不起辉，那就要要检查你的靶材是否接受良好，最好就是线路是否接好
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3楼2010-04-23 10:38:49
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FePt

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
请说明是否起辉了？
引用回帖:
Originally posted by li_jing_kui at 2010-04-22 11:16:48:
磁控溅射偏压为什么加不上？调节功率旋钮，只是有电流，没有电源，偏压加不上，请有经验的人指教。谢谢！

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4楼2010-04-23 15:13:01
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sensing5668

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yzcluster(金币+1): 2010-04-27 15:24
射频溅射，除了气压，功率外，主要靠调节两个耦合电容
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5楼2010-04-26 17:20:53
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li_jing_kui

木虫 (正式写手)
★
yzcluster(金币+1): 2010-04-27 15:24
引用回帖:
Originally posted by zhioking at 2010-04-22 14:52:54:
是不是气体流量太低了

正常起辉，可以镀膜，就是加在基片上的偏压加不上
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6楼2010-04-27 15:03:57
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布布狗

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也觉得是气压呢。。。你可以加大一些
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123
7楼2010-04-27 16:51:54
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bluerushyou

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by li_jing_kui at 2010-04-22 11:16:48:
磁控溅射偏压为什么加不上？调节功率旋钮，只是有电流，没有电源，偏压加不上，请有经验的人指教。谢谢！（正常起辉，可以镀膜，就是加在基片上的偏压加不上 ）

[ Last edited by li_jing_kui on 2010-4-27 a ...

加在基片上偏压是要反溅吗？  那得用射频电源吧  射频电源起辉需要Ar气压高  尝试把高阀关闭一瞬间    或者从针阀通入氩气  
不知道楼主是不是这个意思  呵呵
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8楼2010-04-28 01:26:32
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，我现在也遇到了同样的问题。不知道你是怎么解决的呢？谢谢
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10楼2015-03-25 15:41:43
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