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li_jing_kui

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上 已有12人参与

磁控溅射偏压为什么加不上?调节功率旋钮,只是有电流,没有电源,偏压加不上,请有经验的人指教。谢谢!(正常起辉,可以镀膜,就是加在基片上的偏压加不上 )

[ Last edited by li_jing_kui on 2010-4-27 at 15:04 ]
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zhioking

木虫 (小有名气)

★ ★
li_jing_kui(金币+1):谢谢参与
yzcluster(金币+1): 2010-04-23 11:15
是不是气体流量太低了
2楼2010-04-22 14:52:54
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