【求助】磁控溅射偏压为什么加不上 - 功能材料 - 基础研究

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银虫 (小有名气)

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10楼: Originally posted by 静忆hh at 2015-03-25 15:41:43
你好，我现在也遇到了同样的问题。不知道你是怎么解决的呢？谢谢

我也会遇到这种问题，刚开始还能加上，过一段时间，偏压就加不上去了，不知道为啥

11楼2015-06-25 21:16:23

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铜虫 (正式写手)

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工件盘和腔体短路了，以前我也碰到过这种情况

12楼2015-07-24 01:51:56

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新虫 (初入文坛)

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5楼: Originally posted by sensing5668 at 2010-04-26 17:20:53
射频溅射，除了气压，功率外，主要靠调节两个耦合电容

请问一下这两个电容可以手动调节吗？

13楼2021-04-23 15:49:18

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