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汕头大学海洋科学接受调剂
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的? 已有9人参与

例如:
加工方法:光学曝光
结构类型:条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围:大于等于8um
应用:用做模板


真诚的跟大家探讨,不一定要做过,如果知道也可以哦,呵呵,我知道的加工方法太少,所以,想跟大家学习~~~
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没有做不到只有想不到
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

怎么没人回帖 难道是发错版了 这个不是微细加工么
没有做不到只有想不到
2楼2010-04-13 10:59:42
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

糊涂的snow(金币+1): 2010-04-14 10:04
自己找本书看看吧

我做过PCB,NSL,UVL,EBL
尺度从最小10微到10纳不等
谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-04-13 11:21:17
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渊源01

金虫 (正式写手)

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-01 21:37:59
方法很多啊,SPS、溶胶凝胶法
4楼2010-04-13 12:10:09
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 渊源01 at 2010-04-13 12:10:09:
方法很多啊,SPS、溶胶凝胶法

可不可具体点
没有做不到只有想不到
5楼2010-04-13 12:47:49
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jabbawocky

铁虫 (小有名气)

你做微透镜阵列吗?
6楼2010-06-24 20:53:53
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zjnu_syl

铜虫 (正式写手)

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-01 21:38:09
微纳结构的原型一般通过灰阶曝光,x射线直写,紫外光刻,热塌陷成型、金刚石磨削等方法制得,维纳结构的批量生产模型是通过原型电成型制得。
永攀科学高峰!
7楼2010-06-30 10:15:17
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗?

是的
没有做不到只有想不到
8楼2010-07-01 21:37:26
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zdplk

金虫 (小有名气)


糊涂的snow(金币+1): 2010-07-02 15:28:07
我没做过,我听说比较多的是两种方法:
1. 超快微加工
2. 偏振微加工
9楼2010-07-02 09:02:56
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blackalo

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-02 15:28:12
用MEMS工艺啊,等离子体刻蚀可以做到1um以下
10楼2010-07-02 13:43:03
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