应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
233/3返回列表上一页123
查看: 3284  |  回复: 22
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
19934623楼: Originally posted by young158 at 2012-11-04 14:46:21
你好，我做300纳米的图形，已做好掩膜版，是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊？这种设备哪个学校有啊，我是北京的。光刻胶是特有的型号吗？刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗？
谢谢...

300nm的话最好通过电子束做吧 精度比较高 光学曝光恐怕做起来很费劲 光学曝光做1微米以上的图形还可以  另外 我暂时还没设备 过两年可能可以做
赞一下 回复此楼
没有做不到只有想不到
21楼2012-11-06 19:25:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

魏玉平

金虫 (正式写手)

上将
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
糊涂的snow: 金币+5 2012-11-08 09:59:12
引用回帖:
19679524楼: Originally posted by 糊涂的snow at 2010-04-13 10:28:47
例如：
加工方法：光学曝光
结构类型：条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围：大于等于8um
应用：用做模板


真诚的跟大家探讨，不一定要做过，如果知道也可以哦，呵呵，我知道的加工方法太少，所以，想跟大家 ...

加工方法：电润湿、电诱导、压印
结构类型：光栅、微（纳）米柱、微透镜阵列
加工的尺寸范围：光栅500nm以上 微柱3-10um 透镜阵列30-200um
应用：用做模板
赞一下 回复此楼
幸福快乐每一天！
22楼2012-11-07 19:00:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

eric098

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by 魏玉平 at 2012-11-07 19:00:51
加工方法：电润湿、电诱导、压印
结构类型：光栅、微（纳）米柱、微透镜阵列
加工的尺寸范围：光栅500nm以上 微柱3-10um 透镜阵列30-200um
应用：用做模板...

单个微透镜直径50UM，可以做吗？微透镜阵列，最大面积能做几英寸？
赞一下 回复此楼
23楼2015-07-05 11:30:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 糊涂的snow 的主题更新
233/3返回列表上一页123
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 5/250 2026-11-13 11:37 by Equinoxhua
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +8 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 9/450 2026-11-13 11:11 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 6/300 2026-11-13 11:04 by Equinoxhua
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:51 by ECLTXnJnRSXf
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:28 by ECLTXnJnRSXf
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:26 by ECLTXnJnRSXf
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:31 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 5/250 2026-11-12 11:25 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 6/300 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 czAiolzR0IJC 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:11 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:41 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:38 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:36 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:14 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 10/500 2026-11-12 09:52 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 FChKX8meu1ds 2026-11-09 12/600 2026-11-12 09:43 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 08:15 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 6/300 2026-11-12 07:09 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 17:03 by TgvkbZZl9tqB
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭