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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
19934623楼: Originally posted by young158 at 2012-11-04 14:46:21
你好，我做300纳米的图形，已做好掩膜版，是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊？这种设备哪个学校有啊，我是北京的。光刻胶是特有的型号吗？刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗？
谢谢...

300nm的话最好通过电子束做吧 精度比较高 光学曝光恐怕做起来很费劲 光学曝光做1微米以上的图形还可以  另外 我暂时还没设备 过两年可能可以做
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没有做不到只有想不到
21楼2012-11-06 19:25:07
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魏玉平

金虫 (正式写手)

上将
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
糊涂的snow: 金币+5 2012-11-08 09:59:12
引用回帖:
19679524楼: Originally posted by 糊涂的snow at 2010-04-13 10:28:47
例如：
加工方法：光学曝光
结构类型：条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围：大于等于8um
应用：用做模板


真诚的跟大家探讨，不一定要做过，如果知道也可以哦，呵呵，我知道的加工方法太少，所以，想跟大家 ...

加工方法：电润湿、电诱导、压印
结构类型：光栅、微（纳）米柱、微透镜阵列
加工的尺寸范围：光栅500nm以上 微柱3-10um 透镜阵列30-200um
应用：用做模板
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幸福快乐每一天！
22楼2012-11-07 19:00:51
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eric098

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by 魏玉平 at 2012-11-07 19:00:51
加工方法：电润湿、电诱导、压印
结构类型：光栅、微（纳）米柱、微透镜阵列
加工的尺寸范围：光栅500nm以上 微柱3-10um 透镜阵列30-200um
应用：用做模板...

单个微透镜直径50UM，可以做吗？微透镜阵列，最大面积能做几英寸？
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23楼2015-07-05 11:30:47
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