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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的?已有9人参与

例如:
加工方法:光学曝光
结构类型:条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围:大于等于8um
应用:用做模板


真诚的跟大家探讨,不一定要做过,如果知道也可以哦,呵呵,我知道的加工方法太少,所以,想跟大家学习~~~
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没有做不到只有想不到
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
19934623楼: Originally posted by young158 at 2012-11-04 14:46:21
你好,我做300纳米的图形,已做好掩膜版,是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊?这种设备哪个学校有啊,我是北京的。光刻胶是特有的型号吗?刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗?
谢谢...

300nm的话最好通过电子束做吧 精度比较高 光学曝光恐怕做起来很费劲 光学曝光做1微米以上的图形还可以  另外 我暂时还没设备 过两年可能可以做
没有做不到只有想不到
21楼2012-11-06 19:25:07
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

怎么没人回帖 难道是发错版了 这个不是微细加工么
没有做不到只有想不到
2楼2010-04-13 10:59:42
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

糊涂的snow(金币+1): 2010-04-14 10:04
自己找本书看看吧

我做过PCB,NSL,UVL,EBL
尺度从最小10微到10纳不等
谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-04-13 11:21:17
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渊源01

金虫 (正式写手)

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-01 21:37:59
方法很多啊,SPS、溶胶凝胶法
4楼2010-04-13 12:10:09
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