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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
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rock19850817

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 糊涂的snow at 2010-04-13 10:28:47:
例如：
加工方法：光学曝光
结构类型：条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围：大于等于8um
应用：用做模板


真诚的跟大家探讨，不一定要做过，如果知道也可以哦，呵呵，我知道的加工方法太少，所以，想跟大 ...

8微米 也算纳米的？
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11楼2010-07-30 14:23:48
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wanxia

新虫 (初入文坛)
糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:31:44
纳米压印（NIL）,聚焦离子束(FIB)，还可以用原子力显微镜的扫描探针来做
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12楼2010-09-01 19:15:20
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杨晓晓

铁杆木虫 (著名写手)
糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:24:26
用水热的方法，在1微米一下，楼上说的都好深奥啊，我外行
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13楼2010-09-01 20:50:33
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kittns

金虫 (小有名气)
电化学法
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14楼2010-09-02 13:04:05
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czj0509

铁虫 (初入文坛)
2pp聚合，可惜只做到微米级别
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15楼2010-09-02 20:04:49
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apolloljy

银虫 (小有名气)
糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:21:24
采用MEMS工艺，我做过紫外光刻，可以到1um甚至以下；刻蚀采用湿法刻蚀和干法RIE或者ICP刻蚀，后者各向异性较好，得到沟槽几百纳米到几微米尺寸可控；现在正准备做EBL，电子束光刻，可以做到100nm左右
此外还有纳米压印、离子束光刻啊、我们学校还有一项约束刻蚀层技术的专利，类似于纳米压印的。
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16楼2010-09-06 13:06:10
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 杨晓晓 at 2010-09-01 20:50:33:
用水热的方法，在1微米一下，楼上说的都好深奥啊，我外行

水热法可以加工什么微结构？如有文章可否给个链接 呵呵 多谢啦
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没有做不到只有想不到
17楼2010-09-06 17:24:05
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by wanxia at 2010-09-01 19:15:20:
纳米压印（NIL）,聚焦离子束(FIB)，还可以用原子力显微镜的扫描探针来做

原子力显微镜的扫描探针怎么做呢？有没文章 给个链接 或者题目 ^_^
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没有做不到只有想不到
18楼2010-09-06 17:25:18
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗？

做
19楼2010-09-06 17:27:34
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young158

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
19883909楼: Originally posted by apolloljy at 2010-09-06 13:06:10
采用MEMS工艺，我做过紫外光刻，可以到1um甚至以下；刻蚀采用湿法刻蚀和干法RIE或者ICP刻蚀，后者各向异性较好，得到沟槽几百纳米到几微米尺寸可控；现在正准备做EBL，电子束光刻，可以做到100nm左右
此外还有纳米 ...

你好，我做300纳米的图形，已做好掩膜版，是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊？这种设备哪个学校有啊，我是北京的。光刻胶是特有的型号吗？刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗？
谢谢
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玩的是高度
20楼2012-11-04 14:46:21
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