【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？ - 微米和纳米 - 微纳加工

11楼2010-07-30 14:23:48

wanxia

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糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:31:44

纳米压印（NIL）,聚焦离子束(FIB)，还可以用原子力显微镜的扫描探针来做

12楼2010-09-01 19:15:20

杨晓晓

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糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:24:26

用水热的方法，在1微米一下，楼上说的都好深奥啊，我外行

13楼2010-09-01 20:50:33

kittns

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14楼2010-09-02 13:04:05

czj0509

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2pp聚合，可惜只做到微米级别

15楼2010-09-02 20:04:49

apolloljy

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糊涂的snow(金币+1): 2010-09-06 17:21:24

采用MEMS工艺，我做过紫外光刻，可以到1um甚至以下；刻蚀采用湿法刻蚀和干法RIE或者ICP刻蚀，后者各向异性较好，得到沟槽几百纳米到几微米尺寸可控；现在正准备做EBL，电子束光刻，可以做到100nm左右
此外还有纳米压印、离子束光刻啊、我们学校还有一项约束刻蚀层技术的专利，类似于纳米压印的。

16楼2010-09-06 13:06:10

糊涂的snow

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引用回帖:

Originally posted by 杨晓晓 at 2010-09-01 20:50:33:
用水热的方法，在1微米一下，楼上说的都好深奥啊，我外行

水热法可以加工什么微结构？如有文章可否给个链接呵呵多谢啦

没有做不到只有想不到

17楼2010-09-06 17:24:05

糊涂的snow

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引用回帖:

Originally posted by wanxia at 2010-09-01 19:15:20:
纳米压印（NIL）,聚焦离子束(FIB)，还可以用原子力显微镜的扫描探针来做

原子力显微镜的扫描探针怎么做呢？有没文章给个链接或者题目 ^_^

没有做不到只有想不到

18楼2010-09-06 17:25:18

糊涂的snow

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引用回帖:

Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗？

做

19楼2010-09-06 17:27:34

young158

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引用回帖:

19883909楼: Originally posted by apolloljy at 2010-09-06 13:06:10
采用MEMS工艺，我做过紫外光刻，可以到1um甚至以下；刻蚀采用湿法刻蚀和干法RIE或者ICP刻蚀，后者各向异性较好，得到沟槽几百纳米到几微米尺寸可控；现在正准备做EBL，电子束光刻，可以做到100nm左右
此外还有纳米 ...

你好，我做300纳米的图形，已做好掩膜版，是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊？这种设备哪个学校有啊，我是北京的。光刻胶是特有的型号吗？刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗？
谢谢

玩的是高度

20楼2012-11-04 14:46:21