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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？ 已有9人参与

例如：
加工方法：光学曝光
结构类型：条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围：大于等于8um
应用：用做模板


真诚的跟大家探讨，不一定要做过，如果知道也可以哦，呵呵，我知道的加工方法太少，所以，想跟大家学习~~~
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没有做不到只有想不到
1楼 2010-04-13 10:28:47
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
怎么没人回帖 难道是发错版了 这个不是微细加工么
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没有做不到只有想不到
2楼2010-04-13 10:59:42
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 渊源01 at 2010-04-13 12:10:09:
方法很多啊，SPS、溶胶凝胶法

可不可具体点
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没有做不到只有想不到
5楼2010-04-13 12:47:49
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗？

是的
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没有做不到只有想不到
8楼2010-07-01 21:37:26
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 杨晓晓 at 2010-09-01 20:50:33:
用水热的方法，在1微米一下，楼上说的都好深奥啊，我外行

水热法可以加工什么微结构？如有文章可否给个链接 呵呵 多谢啦
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没有做不到只有想不到
17楼2010-09-06 17:24:05
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
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Originally posted by wanxia at 2010-09-01 19:15:20:
纳米压印（NIL）,聚焦离子束(FIB)，还可以用原子力显微镜的扫描探针来做

原子力显微镜的扫描探针怎么做呢？有没文章 给个链接 或者题目 ^_^
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没有做不到只有想不到
18楼2010-09-06 17:25:18
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗？

做
19楼2010-09-06 17:27:34
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
19934623楼: Originally posted by young158 at 2012-11-04 14:46:21
你好，我做300纳米的图形，已做好掩膜版，是不是应该采用深紫外曝光或者离子束曝光啊？这种设备哪个学校有啊，我是北京的。光刻胶是特有的型号吗？刻蚀采用RIE或者IBE?如果方便的话可以委托你们加工吗？
谢谢...

300nm的话最好通过电子束做吧 精度比较高 光学曝光恐怕做起来很费劲 光学曝光做1微米以上的图形还可以  另外 我暂时还没设备 过两年可能可以做
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没有做不到只有想不到
21楼2012-11-06 19:25:07
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