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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？已有9人参与

例如：
加工方法：光学曝光
结构类型：条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围：大于等于8um
应用：用做模板


真诚的跟大家探讨，不一定要做过，如果知道也可以哦，呵呵，我知道的加工方法太少，所以，想跟大家学习~~~
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没有做不到只有想不到
1楼2010-04-13 10:28:47
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
怎么没人回帖 难道是发错版了 这个不是微细加工么
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没有做不到只有想不到
2楼2010-04-13 10:59:42
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇
糊涂的snow(金币+1): 2010-04-14 10:04
自己找本书看看吧

我做过PCB，NSL，UVL，EBL
尺度从最小10微到10纳不等
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-04-13 11:21:17
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渊源01

金虫 (正式写手)
糊涂的snow(金币+1): 2010-07-01 21:37:59
方法很多啊，SPS、溶胶凝胶法
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4楼2010-04-13 12:10:09
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 渊源01 at 2010-04-13 12:10:09:
方法很多啊，SPS、溶胶凝胶法

可不可具体点
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没有做不到只有想不到
5楼2010-04-13 12:47:49
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jabbawocky

铁虫 (小有名气)
你做微透镜阵列吗？
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6楼2010-06-24 20:53:53
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zjnu_syl

铜虫 (正式写手)
糊涂的snow(金币+1): 2010-07-01 21:38:09
微纳结构的原型一般通过灰阶曝光，x射线直写，紫外光刻，热塌陷成型、金刚石磨削等方法制得，维纳结构的批量生产模型是通过原型电成型制得。
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永攀科学高峰！
7楼2010-06-30 10:15:17
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jabbawocky at 2010-06-24 20:53:53:
你做微透镜阵列吗？

是的
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没有做不到只有想不到
8楼2010-07-01 21:37:26
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zdplk

金虫 (小有名气)
糊涂的snow(金币+1): 2010-07-02 15:28:07
我没做过，我听说比较多的是两种方法：
1. 超快微加工
2. 偏振微加工
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9楼2010-07-02 09:02:56
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blackalo

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-02 15:28:12
用MEMS工艺啊，等离子体刻蚀可以做到1um以下
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10楼2010-07-02 13:43:03
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