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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的?已有9人参与

例如:
加工方法:光学曝光
结构类型:条形阵列、透镜阵列
加工的尺寸范围:大于等于8um
应用:用做模板


真诚的跟大家探讨,不一定要做过,如果知道也可以哦,呵呵,我知道的加工方法太少,所以,想跟大家学习~~~
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没有做不到只有想不到
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blackalo

糊涂的snow(金币+1): 2010-07-02 15:28:12
用MEMS工艺啊,等离子体刻蚀可以做到1um以下
10楼2010-07-02 13:43:03
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