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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与

请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？

另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？

十分感谢各位！
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1楼 2018-07-25 14:48:33
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
9390鹏: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。
至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。

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7楼2018-07-26 10:48:47
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)
随便在边缘搭一根干净的金属丝，镀的时候就遮挡住了，能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部，否则可能底部测出来凹凸不平

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3楼2018-07-25 15:26:01
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果薄膜的成分不确定的话，使用椭偏仪和台阶仪进行薄膜厚度的测量都是可以的，一般来讲，椭偏仪的精度会高于台阶仪。
因为你的薄膜成分不确定，所以首先需要用椭偏仪进行数据库的建立，之后用测得的光谱数据进行拟合，这样就可以测得未知薄膜成分的厚度啦。
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6楼2018-07-26 08:54:04
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颐光科技

捐助贵宾 (职业作家)
告知材料成分即可，最好还有名义厚度，我这边可以帮您免费测试，台阶仪针适合100nm以上的材料，椭偏可以精确0.1nm.
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12楼2018-08-15 10:20:41
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普通回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
用台阶仪测呗

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2楼2018-07-25 15:08:41
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-25 15:26:01
随便在边缘搭一根干净的金属丝，镀的时候就遮挡住了，能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部，否则可能底部测出来凹凸不平

谢谢回复，有疑惑，金属丝真能完全挡住吗？
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4楼2018-07-25 20:47:31
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-07-25 15:08:41
用台阶仪测呗

台阶仪不是需要构造好的台阶吗？
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5楼2018-07-25 20:54:04
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-26 10:48:47
只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。
至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。
...

十分感谢！
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8楼2018-07-26 11:04:32
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天行健08

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
内容已删除
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MEMS
9楼2018-07-26 11:08:32
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话诒驶376

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
10楼2018-07-26 14:51:59
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