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请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与
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请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？ 另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？ 十分感谢各位！ |
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