[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题已有4人参与

3楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-25 15:26:01
随便在边缘搭一根干净的金属丝，镀的时候就遮挡住了，能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部，否则可能底部测出来凹凸不平

2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-07-25 15:08:41
用台阶仪测呗

7楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-26 10:48:47
只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。
至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。
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10楼: Originally posted by 话诒驶376 at 2018-07-26 14:51:59
其实测薄膜厚度最好的手段还是用原子力显微镜，台阶可以用胶带或者金属丝遮挡制。感兴趣的话可以看看我这个账号里面的帖子。