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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与

请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？

另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？

十分感谢各位！
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1楼 2018-07-25 14:48:33
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 话诒驶376 at 2018-07-26 14:51:59
其实测薄膜厚度最好的手段还是用原子力显微镜，台阶可以用胶带或者金属丝遮挡制。感兴趣的话可以看看我这个账号里面的帖子。

十分感谢！
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11楼2018-07-27 18:25:31
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
用台阶仪测呗

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2楼2018-07-25 15:08:41
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)
随便在边缘搭一根干净的金属丝，镀的时候就遮挡住了，能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部，否则可能底部测出来凹凸不平

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3楼2018-07-25 15:26:01
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-25 15:26:01
随便在边缘搭一根干净的金属丝，镀的时候就遮挡住了，能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部，否则可能底部测出来凹凸不平

谢谢回复，有疑惑，金属丝真能完全挡住吗？
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4楼2018-07-25 20:47:31
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