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请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与
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请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？ 另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？ 十分感谢各位！ |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
9390鹏: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
感谢参与，应助指数 +1
9390鹏: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
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只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。 至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。 发自小木虫Android客户端 |
7楼2018-07-26 10:48:47
强哥哥哥
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2楼2018-07-25 15:08:41
伽鲁特
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3楼2018-07-25 15:26:01
4楼2018-07-25 20:47:31
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