| 查看: 5683 | 回复: 12 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
[求助]
请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题已有4人参与
|
||||
|
请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？ 另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？ 十分感谢各位！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有292人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
9390鹏: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
感谢参与，应助指数 +1
9390鹏: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
|
只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。 至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。 发自小木虫Android客户端 |
7楼2018-07-26 10:48:47