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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题已有4人参与

请教各位，我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度，都有什么方法制造好的台阶？

另外，薄膜只知道元素，具体的成分不确定，也不是一种，这种可以用椭偏仪测量厚度吗？

十分感谢各位！

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1楼 2018-07-25 14:48:33

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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-26 10:48:47
只要不是完全不透光的，就用椭偏测。先用椭偏测出n，k系数，再拟合计算出厚度。
至于台阶，楼上说的金属丝也好，胶带也好，都可以，只要能简单遮挡的都行。虽然做出的台阶会是一个斜坡，但是台阶仪会矫正的。
...

十分感谢！

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