请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 - 微米和纳米 - 合成表征

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铁虫 (初入文坛)

引用回帖:

10楼: Originally posted by 话诒驶376 at 2018-07-26 14:51:59
其实测薄膜厚度最好的手段还是用原子力显微镜，台阶可以用胶带或者金属丝遮挡制。感兴趣的话可以看看我这个账号里面的帖子。

十分感谢！

11楼2018-07-27 18:25:31

捐助贵宾 (职业作家)

告知材料成分即可，最好还有名义厚度，我这边可以帮您免费测试，台阶仪针适合100nm以上的材料，椭偏可以精确0.1nm.

12楼2018-08-15 10:20:41

新虫 (小有名气)

引用回帖:

4楼: Originally posted by 9390鹏 at 2018-07-25 20:47:31
谢谢回复，有疑惑，金属丝真能完全挡住吗？...

如果知道材质的话，用XRF也能测试，如不知道材质，最好用撕膜的方式；或者用光阻做一个掩膜覆盖，这样生成的薄膜就可控制其生长区域，进而利用台阶进行测试；

13楼2018-08-22 15:28:38

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