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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 话诒驶376 at 2018-07-26 14:51:59
其实测薄膜厚度最好的手段还是用原子力显微镜,台阶可以用胶带或者金属丝遮挡制。感兴趣的话可以看看我这个账号里面的帖子。

十分感谢!
11楼2018-07-27 18:25:31
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颐光科技

捐助贵宾 (职业作家)


告知材料成分即可,最好还有名义厚度,我这边可以帮您免费测试,台阶仪针适合100nm以上的材料,椭偏可以精确0.1nm.
12楼2018-08-15 10:20:41
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happy_zbh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 9390鹏 at 2018-07-25 20:47:31
谢谢回复,有疑惑,金属丝真能完全挡住吗?...

如果知道材质的话,用XRF也能测试,如不知道材质,最好用撕膜的方式;或者用光阻做一个掩膜覆盖,这样生成的薄膜就可控制其生长区域,进而利用台阶进行测试;
13楼2018-08-22 15:28:38
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