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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与

请教各位,我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度,都有什么方法制造好的台阶?

另外,薄膜只知道元素,具体的成分不确定,也不是一种,这种可以用椭偏仪测量厚度吗?

十分感谢各位!
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颐光科技

捐助贵宾 (职业作家)


告知材料成分即可,最好还有名义厚度,我这边可以帮您免费测试,台阶仪针适合100nm以上的材料,椭偏可以精确0.1nm.
12楼2018-08-15 10:20:41
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

2楼2018-07-25 15:08:41
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)

随便在边缘搭一根干净的金属丝,镀的时候就遮挡住了,能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部,否则可能底部测出来凹凸不平

发自小木虫IOS客户端
3楼2018-07-25 15:26:01
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-25 15:26:01
随便在边缘搭一根干净的金属丝,镀的时候就遮挡住了,能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部,否则可能底部测出来凹凸不平

谢谢回复,有疑惑,金属丝真能完全挡住吗?
4楼2018-07-25 20:47:31
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