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请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与
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请教各位,我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度,都有什么方法制造好的台阶? 另外,薄膜只知道元素,具体的成分不确定,也不是一种,这种可以用椭偏仪测量厚度吗? 十分感谢各位! |
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