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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题已有4人参与

请教各位,我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度,都有什么方法制造好的台阶?

另外,薄膜只知道元素,具体的成分不确定,也不是一种,这种可以用椭偏仪测量厚度吗?

十分感谢各位!
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颐光科技

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告知材料成分即可,最好还有名义厚度,我这边可以帮您免费测试,台阶仪针适合100nm以上的材料,椭偏可以精确0.1nm.
12楼2018-08-15 10:20:41
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