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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题已有4人参与

请教各位,我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度,都有什么方法制造好的台阶?

另外,薄膜只知道元素,具体的成分不确定,也不是一种,这种可以用椭偏仪测量厚度吗?

十分感谢各位!
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happy_zbh

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 9390鹏 at 2018-07-25 20:47:31
谢谢回复,有疑惑,金属丝真能完全挡住吗?...

如果知道材质的话,用XRF也能测试,如不知道材质,最好用撕膜的方式;或者用光阻做一个掩膜覆盖,这样生成的薄膜就可控制其生长区域,进而利用台阶进行测试;
13楼2018-08-22 15:28:38
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