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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位使用台阶仪和椭偏仪测量薄膜厚度的问题 已有4人参与

请教各位,我在硅片表面镀膜。如果用台阶仪测量薄膜厚度,都有什么方法制造好的台阶?

另外,薄膜只知道元素,具体的成分不确定,也不是一种,这种可以用椭偏仪测量厚度吗?

十分感谢各位!
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果薄膜的成分不确定的话,使用椭偏仪和台阶仪进行薄膜厚度的测量都是可以的,一般来讲,椭偏仪的精度会高于台阶仪。
因为你的薄膜成分不确定,所以首先需要用椭偏仪进行数据库的建立,之后用测得的光谱数据进行拟合,这样就可以测得未知薄膜成分的厚度啦。
6楼2018-07-26 08:54:04
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

2楼2018-07-25 15:08:41
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)

随便在边缘搭一根干净的金属丝,镀的时候就遮挡住了,能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部,否则可能底部测出来凹凸不平

发自小木虫IOS客户端
3楼2018-07-25 15:26:01
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9390鹏

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2018-07-25 15:26:01
随便在边缘搭一根干净的金属丝,镀的时候就遮挡住了,能测出双台阶。清洁金属丝是为了避免让金属丝影响台阶底部,否则可能底部测出来凹凸不平

谢谢回复,有疑惑,金属丝真能完全挡住吗?
4楼2018-07-25 20:47:31
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