| 查看: 5089 | 回复: 4 | ||
梁舟舟木虫 (小有名气)
|
[求助]
氢氟酸刻蚀硅片 已有2人参与
|
|
求助各位大神，最近在做氢氟酸刻蚀硅片形成硅纳米阵列，不论将硅片浸泡在刻蚀液里多久都不能形成纳米线，请各位大神指教。现将具体方法写在下面 1 丙酮 乙醇和去离子水超声清洗硅片 2 浸泡在浓硫酸和过氧化氢3:1 的溶液中30min,去离子水清洗 3 浸泡在5%的HF溶液中30min 4 硅片取出浸泡在10%的HF溶液中，该溶液中加AgNO3(0.025M) 浸泡不同时间进行刻蚀 5 浸泡在10%的HF中超声清洗，然后水洗 所有的过程都是在室温下进行的，希望各位大神指点！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有100人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线
已经有6人回复
- 想应用光刻和湿法刻蚀 作出有规则排列的纳米线，高手进！
已经有21人回复
- 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题
已经有7人回复
- 多晶硅片牙托粉镶嵌问题
已经有0人回复
- 硅片自组装镀膜前的亲水处理
已经有2人回复
- 硅纳米线湿法刻蚀
已经有8人回复
- 湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
已经有4人回复
- 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
已经有11人回复
- 氢氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，还是减少其粗糙度啊？
已经有3人回复
- 多晶硅硅片制绒
已经有9人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
涂涂涂涂
木虫 (小有名气)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 1955.2
- 散金: 18
- 红花: 7
- 帖子: 107
- 在线: 84.1小时
- 虫号: 3311342
- 注册: 2014-07-07
- 性别: GG
- 专业: 高分子物理与高分子物理化
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
梁舟舟: 金币+22, ★★★★★最佳答案, 谢谢我好好看一下 2017-03-24 20:33:27
梁舟舟: 金币+22, 我下载不了这篇专利 麻烦你发我一下好么？1804044884@qq.com 2017-03-27 08:45:08
感谢参与，应助指数 +1
梁舟舟: 金币+22, ★★★★★最佳答案, 谢谢我好好看一下 2017-03-24 20:33:27
梁舟舟: 金币+22, 我下载不了这篇专利 麻烦你发我一下好么？1804044884@qq.com 2017-03-27 08:45:08
|
第一：参考下这篇专利《丁士进, 朱宝. 一种制备高密度硅纳米孔阵列的方法:, CN 102290332 A[P]. 2011.》，应该对你有帮助 第二：你改变下条件，加热一下，温度50℃，HF5mol/L,AgNO3 0.02mol/L 二者体积比1：4，生长1h，应该能得到不错的硅纳米阵列的。 |
2楼2017-03-22 11:29:17
zqxfcg
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2315.7
- 散金: 720
- 红花: 8
- 帖子: 790
- 在线: 324.5小时
- 虫号: 955529
- 注册: 2010-02-15
- 专业: 电化学
3楼2017-04-02 21:08:09
zwyzhwy
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4386.1
- 红花: 1
- 帖子: 412
- 在线: 194.6小时
- 虫号: 3219493
- 注册: 2014-05-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2017-04-04 00:31:53
5楼2020-12-09 16:07:05