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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 多晶硅硅片制绒
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wwwread

金虫 (小有名气)

[求助] 多晶硅硅片制绒

多晶硅硅片制绒刻蚀时氢氟酸、硝酸的量、碱对腐蚀深度的具体影响是？最好有具体数据。或举个例子，如多少温度下，加多少量会有多大的腐蚀。谢谢
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1楼 2011-05-01 21:47:40
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soloroc

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个都是要靠你自己的实验去摸索的！
不过一般都是说室温下进行的
你可以找几篇相关的文献去参照进行试验
有很多的
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2楼2011-05-03 09:39:03
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樊苗苗

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2011-05-08 12:59:18
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yanyandhx

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

wwwread(金币+2): 做实际生产，我是刚上班，对这些不懂，在单位一说如何改工艺都说凭经验，就想了解一下大家如何做的。我们用的是湿法刻蚀 2011-05-11 10:01:08
楼主是做科研呢？还是实际生产？制绒呢80度够了，不过我们是用碱和制绒辅助剂的，可刻蚀的话我们用的是等离子体，不晓得你们用什么？
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做一棵向日葵，永远朝着太阳
4楼2011-05-09 00:17:15
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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你去查找下德国Rena公司的制绒设备，人家已经全部做过试验了。有经验可循，没必要再去探索了。我不方便直接说。
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5楼2011-05-09 15:05:08
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zwq955

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

HF与硝酸大约1:2，温度为7-9摄氏度，具体自己摸索！
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好好休息，天天向上！
6楼2011-05-13 10:55:23
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luochunlian123

金虫 (正式写手)

妙管家
,了解下。
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7楼2011-05-17 17:20:55
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manmansboy

专家顾问 (正式写手)

黄金矿工
6楼比较靠谱。
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浆料圈 silverpaste@qq.com 18068297665
8楼2011-06-03 12:18:56
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cynthia_zzz

新虫 (初入文坛)
6楼的对，温度控制 在十度以下就好。反应时间40s左右就可以了
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9楼2014-03-06 13:32:31
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amydream

铜虫 (初入文坛)
HF:HNO3=1:2，温度8度左右，反应2分钟，腐蚀3um以上吧。具体要经过实际操作才能确定！
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10楼2015-01-20 19:25:23
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