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wwwread

金虫 (小有名气)

[求助] 多晶硅硅片制绒

多晶硅硅片制绒刻蚀时氢氟酸、硝酸的量、碱对腐蚀深度的具体影响是?最好有具体数据。或举个例子,如多少温度下,加多少量会有多大的腐蚀。谢谢
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amydream

铜虫 (初入文坛)

HF:HNO3=1:2,温度8度左右,反应2分钟,腐蚀3um以上吧。具体要经过实际操作才能确定!
10楼2015-01-20 19:25:23
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soloroc

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这个都是要靠你自己的实验去摸索的!
不过一般都是说室温下进行的
你可以找几篇相关的文献去参照进行试验
有很多的
2楼2011-05-03 09:39:03
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樊苗苗

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2011-05-08 12:59:18
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yanyandhx

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

wwwread(金币+2): 做实际生产,我是刚上班,对这些不懂,在单位一说如何改工艺都说凭经验,就想了解一下大家如何做的。我们用的是湿法刻蚀 2011-05-11 10:01:08
楼主是做科研呢?还是实际生产?制绒呢80度够了,不过我们是用碱和制绒辅助剂的,可刻蚀的话我们用的是等离子体,不晓得你们用什么?
做一棵向日葵,永远朝着太阳
4楼2011-05-09 00:17:15
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