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四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼已有2人参与
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如题,生长结果硅片上长出白色粉末,没长出二硫化钼,求大神告知白色粉末是什么,为啥长不出二硫化钼?![]() ![]() CVD条件: 1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min,并用氧等离子体处理5min。 2、加热至700度开始加热硫粉,然后加热至900度反应30min,退火。 3、氩气40sccm 4、气压150Pa 20160120_213636.jpg |
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金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有74人回复
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谢谢你的回复。的确需要改变一些条件,温度应该没有问题,四硫代钼酸铵800度以上就分解了。压强可以再调整一下。硫粉不参与反应,所以硫粉的量应该没有影响。我用无水乙醇溶解的四硫代钼酸铵,不知道乙醇会不会有影响,打算下次用dmf试一下。 发自小木虫Android客户端 |
7楼2016-01-21 16:44:03
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的确,影响因素太多了,谢谢你的回复,我的参数大致是对的,可能需要稍微改变一下温度,降低一下氩气的流速,另外用乙醇溶解硫代钼酸铵可能不太好,在硅片上四硫代钼酸铵容易结晶。今天换了另外一个厂家的硅片做了一次,没有出现白色粉末。可能是硅片的原因,因为我硫粉用的0.5克比较多,我昨天用的硅片可能对硫的吸附太强,造成硅片上有很多硫结晶,把二硫化钼掩盖了。管子里面绝对不存在氧,应该不会是氧化钼,就算有也应该是把样品从炉子里拿出来后暴露在空气中氧化的。 发自小木虫Android客户端 |
12楼2016-01-21 22:56:09
jiayi494462
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2楼2016-01-20 22:53:57
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谢谢你的回复,可是我实验室现在还不能测拉曼。可能会有二硫化钼,但是质量不好,也长不出膜。显微镜下全是类似于三氧化钼的晶体。四硫代钼酸铵分解可以得到二硫化钼,加硫粉是为了提高样品质量。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-01-21 09:21:49
1763218413
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4楼2016-01-21 11:58:21
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的确可以不加硫粉,加硫粉使石英管里面充满硫蒸汽,得到的二硫化钼质量会好一些。产物很有可能是三氧化钼,我也不知道氧是哪里来的,炉子打开之前抽真空加洗气30min,管子里面应该没有氧啊 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-01-21 14:20:23
jiayi494462
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6楼2016-01-21 15:47:55
kesy
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8楼2016-01-21 17:01:25
jiayi494462
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9楼2016-01-21 17:50:54
10楼2016-01-21 22:37:10














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