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Littom

新虫 (初入文坛)

[求助] 四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼 已有2人参与

如题,生长结果硅片上长出白色粉末,没长出二硫化钼,求大神告知白色粉末是什么,为啥长不出二硫化钼?
CVD条件:
1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min,并用氧等离子体处理5min。
2、加热至700度开始加热硫粉,然后加热至900度反应30min,退火。
3、氩气40sccm
4、气压150Pa

四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼
20160120_213636.jpg
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1763218413

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
四硫代钼酸铵可以本身提供硫源和钼源吧,另外 白色粉末如果是灰白偏蓝的话应当是MoO3吧 很器官 怎么会有O出现。。。。。。。
4楼2016-01-21 11:58:21
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