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四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼 已有2人参与
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如题,生长结果硅片上长出白色粉末,没长出二硫化钼,求大神告知白色粉末是什么,为啥长不出二硫化钼?![]() ![]() CVD条件: 1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min,并用氧等离子体处理5min。 2、加热至700度开始加热硫粉,然后加热至900度反应30min,退火。 3、氩气40sccm 4、气压150Pa 20160120_213636.jpg |
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金虫 (初入文坛)
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4楼2016-01-21 11:58:21










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