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四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼已有2人参与
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如题，生长结果硅片上长出白色粉末，没长出二硫化钼，求大神告知白色粉末是什么，为啥长不出二硫化钼？ CVD条件： 1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min，并用氧等离子体处理5min。 2、加热至700度开始加热硫粉，然后加热至900度反应30min，退火。 3、氩气40sccm 4、气压150Pa  20160120_213636.jpg |
回复此楼
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谢谢你的回复。的确需要改变一些条件，温度应该没有问题，四硫代钼酸铵800度以上就分解了。压强可以再调整一下。硫粉不参与反应，所以硫粉的量应该没有影响。我用无水乙醇溶解的四硫代钼酸铵，不知道乙醇会不会有影响，打算下次用dmf试一下。 发自小木虫Android客户端 |
7楼2016-01-21 16:44:03
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的确，影响因素太多了，谢谢你的回复，我的参数大致是对的，可能需要稍微改变一下温度，降低一下氩气的流速，另外用乙醇溶解硫代钼酸铵可能不太好，在硅片上四硫代钼酸铵容易结晶。今天换了另外一个厂家的硅片做了一次，没有出现白色粉末。可能是硅片的原因，因为我硫粉用的0.5克比较多，我昨天用的硅片可能对硫的吸附太强，造成硅片上有很多硫结晶，把二硫化钼掩盖了。管子里面绝对不存在氧，应该不会是氧化钼，就算有也应该是把样品从炉子里拿出来后暴露在空气中氧化的。 发自小木虫Android客户端 |
12楼2016-01-21 22:56:09
jiayi494462
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2楼2016-01-20 22:53:57
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谢谢你的回复，可是我实验室现在还不能测拉曼。可能会有二硫化钼，但是质量不好，也长不出膜。显微镜下全是类似于三氧化钼的晶体。四硫代钼酸铵分解可以得到二硫化钼，加硫粉是为了提高样品质量。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-01-21 09:21:49
1763218413
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4楼2016-01-21 11:58:21
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的确可以不加硫粉，加硫粉使石英管里面充满硫蒸汽，得到的二硫化钼质量会好一些。产物很有可能是三氧化钼，我也不知道氧是哪里来的，炉子打开之前抽真空加洗气30min，管子里面应该没有氧啊 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-01-21 14:20:23
jiayi494462
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6楼2016-01-21 15:47:55
kesy
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8楼2016-01-21 17:01:25
jiayi494462
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9楼2016-01-21 17:50:54
10楼2016-01-21 22:37:10