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Littom

新虫 (初入文坛)

[求助] 四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼已有2人参与

如题,生长结果硅片上长出白色粉末,没长出二硫化钼,求大神告知白色粉末是什么,为啥长不出二硫化钼?
CVD条件:
1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min,并用氧等离子体处理5min。
2、加热至700度开始加热硫粉,然后加热至900度反应30min,退火。
3、氩气40sccm
4、气压150Pa

四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼
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Littom

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by jiayi494462 at 2016-01-21 17:50:54
...你这炉子大管套小管挺有意思的。温度会影响四硫代钼酸铵的分解速度。硫粉的存在是为了提高结晶质量,管中硫的蒸气压对四硫代钼酸铵的分解应该是有减速的作用,文献里的用量是基于他们的实验设备,合适的用量需要 ...

的确,影响因素太多了,谢谢你的回复,我的参数大致是对的,可能需要稍微改变一下温度,降低一下氩气的流速,另外用乙醇溶解硫代钼酸铵可能不太好,在硅片上四硫代钼酸铵容易结晶。今天换了另外一个厂家的硅片做了一次,没有出现白色粉末。可能是硅片的原因,因为我硫粉用的0.5克比较多,我昨天用的硅片可能对硫的吸附太强,造成硅片上有很多硫结晶,把二硫化钼掩盖了。管子里面绝对不存在氧,应该不会是氧化钼,就算有也应该是把样品从炉子里拿出来后暴露在空气中氧化的。

发自小木虫Android客户端
12楼2016-01-21 22:56:09
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jiayi494462

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
四硫代钼酸铵分解之后的产物和硫粉的混合物。你测一下拉曼可能会有二硫化钼的峰。
你用四硫代钼酸铵,是不是可以试试不用加硫粉,直接分解就可以得到硫化钼?
2楼2016-01-20 22:53:57
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Littom

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jiayi494462 at 2016-01-20 22:53:57
四硫代钼酸铵分解之后的产物和硫粉的混合物。你测一下拉曼可能会有二硫化钼的峰。
你用四硫代钼酸铵,是不是可以试试不用加硫粉,直接分解就可以得到硫化钼?

谢谢你的回复,可是我实验室现在还不能测拉曼。可能会有二硫化钼,但是质量不好,也长不出膜。显微镜下全是类似于三氧化钼的晶体。四硫代钼酸铵分解可以得到二硫化钼,加硫粉是为了提高样品质量。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-01-21 09:21:49
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1763218413

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
四硫代钼酸铵可以本身提供硫源和钼源吧,另外 白色粉末如果是灰白偏蓝的话应当是MoO3吧 很器官 怎么会有O出现。。。。。。。
4楼2016-01-21 11:58:21
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