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四硫代钼酸铵CVD生长二硫化钼 已有2人参与
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如题，生长结果硅片上长出白色粉末，没长出二硫化钼，求大神告知白色粉末是什么，为啥长不出二硫化钼？ CVD条件： 1、四硫代钼酸铵旋涂到硅片上。硅片分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声10min，并用氧等离子体处理5min。 2、加热至700度开始加热硫粉，然后加热至900度反应30min，退火。 3、氩气40sccm 4、气压150Pa  20160120_213636.jpg |
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谢谢你的回复，可是我实验室现在还不能测拉曼。可能会有二硫化钼，但是质量不好，也长不出膜。显微镜下全是类似于三氧化钼的晶体。四硫代钼酸铵分解可以得到二硫化钼，加硫粉是为了提高样品质量。 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-01-21 09:21:49
jiayi494462
铁杆木虫 (正式写手)
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2楼2016-01-20 22:53:57
1763218413
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4楼2016-01-21 11:58:21
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的确可以不加硫粉，加硫粉使石英管里面充满硫蒸汽，得到的二硫化钼质量会好一些。产物很有可能是三氧化钼，我也不知道氧是哪里来的，炉子打开之前抽真空加洗气30min，管子里面应该没有氧啊 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-01-21 14:20:23
