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漫步云端008

新虫 (初入文坛)

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[交流] 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教

本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！

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1楼 2015-05-25 18:08:12

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springburn

至尊木虫 (文坛精英)

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http://www.researchgate.net/prof ... b24948ad0000000.pdf

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5楼2015-05-25 18:35:16

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漫步云端008

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5楼: Originally posted by springburn at 2015-05-25 18:35:16
http://www.researchgate.net/profile/Xiujian_Zhao/publication/230673134_Effect_of_the_ratio_of_oxygen_to_argon_and_thermal_treatment_on_the_structure_and_hydrophilicity_of_TiO2_thin_films_coated_on_gl ...

这个是直流反应磁控溅射的，跟双极性的不一样，不过还是谢谢