应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教
131/1返回列表
查看: 832  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

漫步云端008

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教

本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-05-25 18:08:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springburn

至尊木虫 (文坛精英)
★
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
http://www.researchgate.net/prof ... b24948ad0000000.pdf
赞一下 回复此楼
5楼2015-05-25 18:35:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漫步云端008

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by springburn at 2015-05-25 18:35:16
http://www.researchgate.net/profile/Xiujian_Zhao/publication/230673134_Effect_of_the_ratio_of_oxygen_to_argon_and_thermal_treatment_on_the_structure_and_hydrophilicity_of_TiO2_thin_films_coated_on_gl ...

这个是直流反应磁控溅射的，跟双极性的不一样，不过还是谢谢
赞一下 回复此楼
12楼2015-05-25 21:05:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
13楼2015-05-25 21:47:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
天涯20122楼
2015-05-25 18:25   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
dmbb3楼
2015-05-25 18:28   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
shenrenren4楼
2015-05-25 18:30   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
寻找cock6楼
2015-05-25 18:36   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
jixiangbao7楼
2015-05-25 18:37   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
wasxnbe8楼
2015-05-25 18:38   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
SilenceGoo9楼
2015-05-25 18:39   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
a
假大空10楼
2015-05-25 18:41   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
Jameskelly11楼
2015-05-25 18:42   回复  
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 漫步云端008 的主题更新
131/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +7 梨花珞晚风 2026-03-17 7/350 2026-03-22 10:03 by 2026paper
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +5 holy J 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:42 by Catalysis25
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 316求调剂 +6 梁茜雯 2026-03-19 6/300 2026-03-21 06:32 by Ecowxq666！
[考研] 346求调剂[0856] +4 WayneLim327 2026-03-16 7/350 2026-03-21 04:02 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +4 ydfyh 2026-03-17 4/200 2026-03-21 02:20 by JourneyLucky
[考研] 材料专业求调剂 +6 hanamiko 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学，327分，材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 350求调剂 +5 weudhdk 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:04 by luoyongfeng
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +11 Ymlll 2026-03-18 15/750 2026-03-20 19:40 by 丁丁*
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
[考研] 298-一志愿中国农业大学-求调剂 +9 手机用户 2026-03-17 9/450 2026-03-20 14:24 by 无懈可击111
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[硕博家园] 湖北工业大学 生命科学与健康学院-课题组招收2026级食品/生物方向硕士 +3 1喜春8 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:18 by ber川cool子
[考研] 有没有道铁/土木的想调剂南林，给自己招师弟中～ +3 TqlXswl 2026-03-16 7/350 2026-03-17 15:23 by TqlXswl
[考博] 26申博 +4 八6八68 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[考研] 一志愿，福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭