| 查看: 952 | 回复: 12 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教
|
|||
| 本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！ |
回复此楼» 猜你喜欢
爱尔兰都柏林大学工学院全额奖学金招聘博士研究生
已经有1人回复
-
请问下国内的中文EI学报有哪些投稿周期比较快的
已经有7人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有252人回复
-
为什么旋转测试台跑了几个月，传感器数据开始出现周期性漂移？
已经有0人回复
-
【机械】从机床防水到正压防护：如何解决高精度旋转平台的“进水失准”死局？
已经有1人回复
-
经验分享】涉水/水下实验频频翻车？扒一扒高精度防水转台的硬核密封逻辑
已经有0人回复
-
基金高中！
已经有694人回复
-
求助一个声学问题——声阻抗匹配
已经有0人回复
-
27博士申请自荐
已经有45人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜
已经有4人回复
- 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
已经有32人回复
- 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教
已经有17人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
5楼2015-05-25 18:35:16
12楼2015-05-25 21:05:29
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
本帖内容被屏蔽 |
13楼2015-05-25 21:47:38
简单回复
假大空10楼
2015-05-25 18:41
回复
漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
