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[交流]
请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教
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| 本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！ |
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12楼2015-05-25 21:05:29
5楼2015-05-25 18:35:16
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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13楼2015-05-25 21:47:38
简单回复
假大空10楼
2015-05-25 18:41
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漫步云端008(金币+1): 谢谢参与
