24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3528)
>虫友互识 (1261)
>休闲灌水 (255)
>导师招生 (203)
>文献求助 (125)
>论文投稿 (84)
>考博 (47)
>博后之家 (44)
>硕博家园 (42)
>考研 (39)
>基金申请 (36)
>招聘信息布告栏 (29)
>找工作 (28)
>教师之家 (24)
>公派出国 (21)
>论文道贺祈福 (18)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

漫步云端008

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3.3
帖子: 31
在线: 33.4小时
虫号: 3160673

[交流] 请问有人做双极性磁控溅射镀钛氧薄膜吗？求教

本人刚接触磁控溅射镀膜，想用双极性磁控溅射镀膜制备碳掺杂钛氧薄膜，电源是直流/单极性/全对称双极性磁控溅射，请问采用双极性时怎么调节两个靶材（碳靶和钛靶）的功率，文献说调节脉宽比可以调节两个靶材的不同功率，貌似我们电源只能调电压、电流、功率、频率、占空比这些参数。有做这方面研究的吗？另外，问一下双极脉冲直流磁控溅射是不是就是双极脉冲磁控溅射，查外文文献很多写脉冲直流磁控溅射的，被这些概念搞晕了。求赐教！

回复此楼

» 猜你喜欢

211大学-（电气、绝缘等方面2026专博招生还有一个名额已经有2人回复
【26年入学】计算机视觉/电子信息/诚招博士生光电教育部重点实验室已经有2人回复
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费? 已经有298人回复
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生光电教育部重点实验室已经有0人回复
CSC难上岸，25年东京大学，早稻田，京都大学多Lab大量招募日本全奖博士生！已经有6人回复
西南交通大学2026年电气工程学院电气工程博士招生已经有13人回复
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生光电教育部重点实验室已经有0人回复
读博入学申请已经有1人回复
2026 博士自荐-机器人机构学方向已经有13人回复
Advances in mechanical engineering 期刊如何提交署名的出版协议已经有0人回复
请问ieee tpe拒稿重投一定得等两个月吗已经有5人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜已经有4人回复
磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？已经有32人回复
拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教已经有17人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2015-05-25 18:08:12

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

漫步云端008

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3.3
帖子: 31
在线: 33.4小时
虫号: 3160673

引用回帖:

5楼: Originally posted by springburn at 2015-05-25 18:35:16
http://www.researchgate.net/profile/Xiujian_Zhao/publication/230673134_Effect_of_the_ratio_of_oxygen_to_argon_and_thermal_treatment_on_the_structure_and_hydrophilicity_of_TiO2_thin_films_coated_on_gl ...

这个是直流反应磁控溅射的，跟双极性的不一样，不过还是谢谢